1. 采购货物有关信息
(1) 设备或材料名称:高真空两靶磁控溅射式镀膜设备
(2) 主要技术参数:
i. 溅射真空室
1.1、 Dg100法兰接口:1个(观察窗口);
1.2、 Dg16法兰接口:5个(进气阀、放气阀、热偶规管,电极引线,备用1个);
1.3、 Dg35法兰接口:5个(电离规管、旁抽阀、外照明、备用2个);
1.4、 Dg150法兰接口:1个(接分子泵);
1.5、 Dg300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板)
1.6、 Dg300法兰接口:1个(用来安装样品台)
ii. 磁控溅射系统:2套
2.1 、靶材尺寸:3英寸;
2.2 、提供靶材:不锈钢、钛、铁各一块(仅供测试靶材用);
2.3 、永磁靶(其中一个可溅射磁性材料),射频溅射与直流溅射兼容,靶内水冷;
2.4 、每个靶都配备气动控制挡板组件1套;
2.5 、靶在下,向上溅射,具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能;
2.6 、暴露大气下,磁控靶可手动调节共溅射角度;
2.7 、500w直流电源,1台;
2.8 、500w全自动调谐射频电源,1台;
iii. 旋转加热基片台
3.1、基片尺寸和数量:最大可放置1片4英寸圆形样品;
3.2、基片自转速度5~20转/分连续可调;
3.3、气动控制样品挡板组件 1套; 3.5、样品台安装-200V偏压电源(辅助沉积)。
iv. 窗口及法兰接口部件
4.1、Dg100玻璃窗口:1块,带衬玻璃;Dg35外照明玻璃窗口:1块,带衬玻璃;
4.2、Dg16陶瓷封接引线法兰:1个(内烘烤引线);
4.3、盲法兰:Dg16:1个;Dg35:2个。
v. 工作气路
5.1、100SCCM、50SCCM质量流量控制器、Dg16截止阀、管路、接头等共3路;
5.2、Dg16放气阀、管路、接头等:1路(解除真空充入氮气);
vi. 抽气机组及阀门、管道
6.1 、脂润滑分子泵及变频控制电源(650L/S):1台;
6.2 、旋片真空泵(8L/S):1台;
6.3 、插板阀CF150:1台(用于复合分子泵与真空室隔离);
6.4 、旁抽角阀DN40:1台;
6.5 、高真空挡板阀DN40:1台;
6.6 、电磁压差式充气阀DN40:1台。
6.7 、分子泵与机械泵软联接金属软管:1套;
6.8 、机械泵与真空室之间的旁抽管路:1套;
(3) 数量:1套
(4) 交货期限:合同签订后3个月内
(5) 交货地点:北京市房山区窦店科技园区2号楼4层用户指定地点
(6) 是否接受进口产品:是/R否
2. 参选单位资格要求
1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;
2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
① 具有独立承担民事责任的能力;
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;
⑤ 参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
3)本项目不接受联合体响应;
4)本项目不允许转包、分包;
5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;
6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
3. 报名方式及截止时间
报名方式:将报名信息(公司名称、地址、法人证书扫描件、销售资质证明扫描件、销售人员身份证明、联系方式等;切勿发送电子版报价单)发送至邮箱fanwen0815@buaa.edu.cn。
截止报名时间:2020年7月16日16时。
4. 竞价会时间及方式
具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
5. 参加竞价所需提供资料
2020年7月17日前(不含),参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:
北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学逸夫楼,范老师收,13520780468。
6. 学院采购项目负责人联系方式(采购项目咨询)
常凌乾,changlingqian1986@buaa.edu.cn,13520376794。(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)
7. 学院实验室管理办公室联系方式(异议或投诉)
韩老师,010-82339197(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)