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采购公示

高真空两靶磁控溅射式镀膜设备竞价采购公告

1.   采购货物有关信息

(1)     设备或材料名称:高真空两靶磁控溅射式镀膜设备

(2)     主要技术参数:

i.           溅射真空室

1.1 Dg100法兰接口:1个(观察窗口);

1.2 Dg16法兰接口:5个(进气阀、放气阀、热偶规管,电极引线,备用1个);

1.3 Dg35法兰接口:5(电离规管、旁抽阀、外照明、备用2)

1.4 Dg150法兰接口:1个(接分子泵);

1.5 Dg300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板)

1.6 Dg300法兰接口:1个(用来安装样品台)

ii.           磁控溅射系统:2

2.1 、靶材尺寸:3英寸;

2.2 、提供靶材:不锈钢、钛、铁各一块(仅供测试靶材用);

2.3 、永磁靶(其中一个可溅射磁性材料),射频溅射与直流溅射兼容,靶内水冷;

2.4 、每个靶都配备气动控制挡板组件1套;

2.5 、靶在下,向上溅射,具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能;

2.6 、暴露大气下,磁控靶可手动调节共溅射角度;

2.7 500w直流电源,1台;

2.8 500w全自动调谐射频电源,1台;

iii.           旋转加热基片台

3.1、基片尺寸和数量:最大可放置14英寸圆形样品;

3.2、基片自转速度520/分连续可调;

3.3、气动控制样品挡板组件 1套; 3.5、样品台安装-200V偏压电源(辅助沉积)。

iv.           窗口及法兰接口部件

4.1Dg100玻璃窗口:1块,带衬玻璃;Dg35外照明玻璃窗口:1块,带衬玻璃;

4.2Dg16陶瓷封接引线法兰:1个(内烘烤引线);

4.3、盲法兰:Dg161个;Dg352个。

v.           工作气路

5.1100SCCM50SCCM质量流量控制器、Dg16截止阀、管路、接头等共3路;

5.2Dg16放气阀、管路、接头等:1路(解除真空充入氮气);

vi.           抽气机组及阀门、管道

6.1 、脂润滑分子泵及变频控制电源(650L/S):1台;

6.2 、旋片真空泵(8L/S):1台;

6.3 、插板阀CF1501台(用于复合分子泵与真空室隔离);

6.4 、旁抽角阀DN401台;

6.5 、高真空挡板阀DN401台;

6.6 、电磁压差式充气阀DN401台。

6.7 、分子泵与机械泵软联接金属软管:1套;

6.8 、机械泵与真空室之间的旁抽管路:1套;

 

(3)     数量:1

(4)     交货期限:合同签订后3个月内

(5)     交货地点:北京市房山区窦店科技园区2号楼4层用户指定地点

(6)     是否接受进口产品:是/R

2.   参选单位资格要求

1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

  具有独立承担民事责任的能力;

  具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

  具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

  有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

  参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;

  法律、行政法规规定的其他条件。 

3)本项目不接受联合体响应;

4)本项目不允许转包、分包;

5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

3.   报名方式及截止时间

报名方式:将报名信息(公司名称、地址、法人证书扫描件、销售资质证明扫描件、销售人员身份证明、联系方式等;切勿发送电子版报价单)发送至邮箱fanwen0815@buaa.edu.cn

截止报名时间:202071616时。

4.   竞价会时间及方式

具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

5.   参加竞价所需提供资料

2020717日前(不含),参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:

北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学逸夫楼,范老师收,13520780468

6.   学院采购项目负责人联系方式(采购项目咨询)

常凌乾,changlingqian1986@buaa.edu.cn13520376794。(上午9-11:30;下午14:30-17:00

7.   学院实验室管理办公室联系方式(异议或投诉)

韩老师,010-82339197(上午9-11:30;下午14:30-17:00